半導体工場 I様例
＜ 開発背景 ＞
- I工場様では銅製のヒーターの流量が配管のつまりによって落ちるとメーカーにメンテナンスで出していた
- 自社で洗浄したが回復せず、メーカーに出すと閉塞配管の交換になり費用が高かった
- メーカーにメンテナンスで出すと納期がかかり同時に閉塞した場合にはラインが止まるリスクがあった
＜ 薬剤開発 ＞
| 供試サンプル |
ヒーター後段のフレキチューブ |
サンプル量 |
1個 |
開発期間 |
3か月 |
< 試験結果 >
| 洗浄前 |
 |
| 洗浄後 |
 |
＜ 銅腐食試験結果 ＞
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弊社洗浄液 |
水 |
| 外観 |
 |
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| 腐食度 |
0.007 |
0.007 |
- 弊社洗浄液で銅ヒーター内の酸化銅だけを完全に除去することが可能になった
- 弊社洗浄液の腐食度は水と変わらないことが確認された
- 同じ腐食度でも銅は変色していたが、弊社洗浄液は変色も起こらなかった
＜ 導入結果 ＞
＜作業スケジュール＞
①9：00～9：30 ＝ 道具搬入、洗浄液準備
②9：30～11：00 ＝ 薬剤循環
③11：00～12：00 ＝ 水洗作業
④14：30～15：30 ＝ 排水処理、片付け
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実機流量 |
洗浄機流量 |
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測定値 [L/min] |
対新品比 [%] |
測定値 [L/min] |
対新品比 [%] |
| 洗浄前 |
1.9 |
54.3 |
1.00 |
50.0 |
| 洗浄後 |
3.5 |
100.0 |
2.00 |
100.0 |
＜ 備考 ＞
- 本件は、初回は現地洗浄を当社がSVで立ち合い、2回目以降は薬剤のみ購入し自社洗浄を行っています
- 使用する洗浄機などご相談ください
- フッ素化合物、リン系化合物を含んでおりませんので中和処理のみで排水できます
