半導体工場　E様例

＜　開発背景　＞

• E工場様では定期的にスクラバーの充填材を取り出して自社洗浄していた
• 自社洗浄は抜出作業に1日、洗浄作業に1日（完全にきれいにならず）、入れ込み作業に1日かかっていた

＜　薬剤開発　＞

供試サンプル

使用済み充填材

サンプル量

10個ほど

開発期間

1.5か月

<　試験結果　>

洗浄前	洗浄後	洗浄処理液

 

• 浸漬半日とシャワーで完全除去することに成功した

＜　導入結果　＞

＜作業スケジュール＞
①8：50　＝　薬剤投入、循環洗浄
②10：00　＝　流量調整バルブを全開
③15：00　＝　排水
④15：30　＝　フラッシング①
⑤16：00　＝　フラッシング②
⑥16：30　＝　片付け

洗浄前(電流値とタンク)
洗浄後

	循環ポンプ電流値　[A]
洗浄前	8.2
洗浄前	7.3

• スクラバー内の充填材は外から見ることができないが、循環しているタンクはかなり汚れが確認された
• 汚れとともに電流値が落ちており洗浄の効果が確認できた

§現場の作業日数が3日間から1日間に短縮され、薬剤洗浄の場合には循環のみで放置しながら他の作業が
　できるようになった
§スクラバーの中で薬剤を循環洗浄することで、シャワーノズルやスクラバーの内壁面、タンクの中も
　洗浄が可能となった

＜　備考　＞

※本件は、初回は現地洗浄を当社が行い、2回目以降は薬剤のみ購入し自社洗浄を行っています
※テスト洗浄によって使用する洗浄液が異なり、洗浄液によっては化洗研でないと現地洗浄不可な場合や
　引き取り洗浄でないと不可な場合がございます
※大型のスクラバーの場合には、現地洗浄では薬剤の量が多くなりすぎてコストが新品以上にかかることが
　ございますので、大型の場合には引き取り洗浄をお勧めしております（引き取り洗浄充填材参照）
※フッ素化合物、リン系化合物を含んでおりませんので中和処理のみで排水できます